下列属于债务人以组合方式清偿债务的债务重组方式有（　　）。

以现金偿还部分债务，同时将剩余债务展期

以一项同时包含金融负债成分和权益工具成分的复合金融工具替换原债务

以机器设备偿还部分债务，剩余债务转为资本

破产清算期间以其厂房偿还部分债务，剩余债务于破产清算终结日豁免

修改债务本金、利息及还款期限条款

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解析：

【喵呜刷题小喵解析】：根据题目描述，我们需要找出属于债务人以组合方式清偿债务的债务重组方式。选项A：以现金偿还部分债务，同时将剩余债务展期。这种方式涉及到现金和债务展期的组合，符合题目要求的组合方式清偿债务。选项B：以一项同时包含金融负债成分和权益工具成分的复合金融工具替换原债务。这种方式涉及到金融负债和权益工具的替换，不符合题目要求的组合方式清偿债务。选项C：以机器设备偿还部分债务，剩余债务转为资本。这种方式涉及到机器设备和债务的转化，符合题目要求的组合方式清偿债务。选项D：破产清算期间以其厂房偿还部分债务，剩余债务于破产清算终结日豁免。这种方式涉及到厂房的偿还和债务的豁免，不符合题目要求的组合方式清偿债务。选项E：修改债务本金、利息及还款期限条款。这种方式涉及到债务条款的修改，不符合题目要求的组合方式清偿债务。综上，选项A和C符合题目要求的组合方式清偿债务的债务重组方式，所以答案是选项A和C。