需用无菌检查法检查的吸入制剂有

需用无菌检查法检查的吸入制剂包括吸入喷雾剂、吸入用溶液和吸入混悬液。这些制剂应为无菌制剂，以确保使用安全。吸入喷雾剂是其中一种需要无菌检查的吸入制剂，而吸入气雾剂不属于需要无菌检查的吸入制剂。因此，正确答案为B、C、E。