在源程序编译过程中,正确的顺序是词法分析、语法分析、语义分析。首先,词法分析是对源代码进行扫描,识别出单词符号(如变量名、关键字等)。然后,语法分析检查这些符号如何组合成有效的语句或表达式。最后,语义分析检查这些语句或表达式的含义是否符合语言的语义规则。因此,正确答案是C。