在对源程序进行编译的过程中,正确的顺序是词法分析、语法分析、语义分析。这是因为编译器首先需要对源代码进行词法分析,将源代码分解成一个个的单词或符号;接着进行语法分析,检查这些单词或符号是否符合语言的语法规则;最后进行语义分析,检查代码的逻辑和含义是否符合预期。因此,正确答案为C。